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(四川凈化工程j)半導體提純車間安全工作規(guī)范及防護方案

發(fā)布時間:2022-04-18人氣:810

四川凈化工程凈化承諾:對于我公司建設(shè)的所有潔凈室工程,工程完工后,我公司專業(yè)技術(shù)工程師將對相關(guān)人員進行潔凈空調(diào)如何開啟、多久更換一次空氣過濾器的培訓,并制定出一套潔凈室的設(shè)備開啟和維護方案。


一、.步入無塵車間的準備工作;1.進入潔凈車間前,必須經(jīng)過凈化工程公司的專業(yè)培訓。第二步:進入無塵環(huán)境

車間嚴禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報章,雜志,鉛筆...等)不可攜入,并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。3.?進入無塵室前,需在規(guī)定之處所脫鞋,將鞋置于鞋柜內(nèi),外衣置于衣柜內(nèi),私人物品置于私人柜內(nèi),柜內(nèi)不可放置食物。4.?進入無塵室須先在更衣室,將口罩,無塵帽,無塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊,再經(jīng)空氣洗塵室洗塵,并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進入。5.?戴口罩時,應(yīng)將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時污染芯片。6.?穿著無塵衣,無塵帽前應(yīng)先整理服裝以及頭發(fā),以免著上無塵衣后,不得整理又感不適。7.?整肅儀容后,先戴無塵帽,無塵帽的穿戴原則系:(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi),不得外露。(2)無塵帽之下擺要平散于兩肩之上,穿上工作衣后,方不致下擺脫出,裸露肩頸部。8.?無塵帽戴妥后,再著無塵衣,無塵衣應(yīng)尺吋合宜,才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞,穿衣時應(yīng)注意帽之下擺應(yīng)保平整之狀態(tài),無塵衣不可反穿。?潔凈網(wǎng)-?]r1O?w:w9*42w+BV9.?穿著無塵衣后,才著鞋套,拉上鞋套并將鞋套整平,確實蓋在褲管之上。10.?戴手套時應(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染),戴上手套后,應(yīng)將手套之手腕置于衣袖內(nèi),以隔絕污染源。11.?無塵衣著妥后,經(jīng)洗塵,并踩踏除塵毯,方得進入無塵室。12.?不論進入或離開無塵室,須按規(guī)定在更衣室脫無塵衣,不可在其它區(qū)域為之,尤不可在無塵室內(nèi)邊走邊脫。13.?無塵衣,鞋套等,應(yīng)定期清洗,有破損,脫線時,應(yīng)即換新。14.?脫下無塵衣時,其順序與穿著時相反。15.?脫下之無塵衣應(yīng)吊好,并放于更衣室內(nèi)上層柜子中;鞋套應(yīng)放置于吊好的無塵衣下方。16.?更衣室內(nèi)小柜中,除了放置無塵衣等規(guī)定物品外,不得放置其它物品。17.?除規(guī)定紙張及物品外,其它物品一概不得攜入無塵室。18.?無塵衣等不得攜出無塵室,用畢放置于規(guī)定處所。19.?口罩與手套可視狀況自行保管或重復(fù)使用。20.?任何東西進入無塵室,必須用灑精擦拭干凈。21.?任何設(shè)備的進入,請知會管理人,在無塵室外擦拭干凈,方可進入。22.?未通過考核之儀器,禁止使用,若遇緊急情況,得依緊急處理步驟作適當處理,例如關(guān)閉水、電、氣體等開關(guān)。23.?無塵室內(nèi)絕對不可動火,以免發(fā)生意外。


二、無塵室操作須知1.???處理芯片時,必須戴上無纖維手套,使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸污染過的芯片須經(jīng)清洗,方得繼續(xù)使用:(1)?任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過,或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。(2)?芯片清洗后進行下一程序前,若被手指碰觸過,必須重新清洗。(3)?把芯片放置于石英舟上,準備進爐管時,若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,并立即更換干凈的鑷子使用。2.?芯片必須放置盒中,蓋起來存放于規(guī)定位置,盡可能不讓它暴露。3.?避免在芯片上談話,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進擴散爐前,請?zhí)貏e注意,防止上述動作產(chǎn)生,若芯片上沾有纖維屑時,用氮氣槍噴之。4.?從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(Quartz?Boat)等載具(Carrier)上,取出芯片時,必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。5.?芯片上,若已長上氧化層,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。6.?操作時,不論是否戴上手套,手絕不能放進清洗水槽。?7.?使用化學站或烤箱處理芯片時,務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi),不可使用塑料盒。8.?擺置芯片于石英舟時,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進氧化爐。9.?請勿觸摸芯片盒內(nèi)部,如被碰觸或有碎芯片污染,必須重作清洗。10.?手套,廢紙及其它雜碎東西,請勿留置于操作臺,手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。11.?非經(jīng)指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手。12.?奇怪的味道或反應(yīng)異常的溶液,顏色,聲響等請即通知相關(guān)人員。13.?儀器因操作錯誤而有任何損壞時,務(wù)必立刻告知負責人員或老師。14.?芯片盒進出無塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,違者不得進入。15.?無塵室內(nèi)一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。三、黃光區(qū)操作須知1.?濕度及溫度會影響對準工作,在黃光區(qū)應(yīng)注意溫度及濕度,并應(yīng)減少對準機附近的人,以減少濕、溫度的變化。2.?上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區(qū)以免感光。3.?己上妥光阻,而在等待對準曝光之芯片,應(yīng)放置于不透明之藍黑色晶盒之內(nèi),?盒蓋必須蓋妥。4.?光罩使用時應(yīng)持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣槍吹之。?5.?曝光時,應(yīng)避免用眼睛直視曝光機汞燈。四、鑷子使用須知1.?進入實驗室后,應(yīng)先戴上手套后,再取鑷子,以免沾污。2.?唯有使用干凈的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭污染,必須拿去清洗,方可再使用。

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